Quang khắc: Nguyên lý và ứng dụng

Abstract

Đề tài này nhằm tìm hiểu về quy trình lithography - quang khắc, một kỹ thuật sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng các bức xạ (ánh sáng, chùm điện tử…) làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo và các ứng dụng của quy trình này.