Chế tạo cảm biến khí cấu trúc dây nano IN₂O₃ trên điện cực bằng phương pháp CVD

Abstract

Hiện nay các loại cảm biến khí thế hệ mới trên cơ sở vật liệu có cấu trúc nano với nhiều tính năng ưu việt đang thu hút được các nghiên cứu đặc biệt là các dây nano oxit bán dẫn như SnO₂, ZnO, TiO₂ và IN₂O₃...Trong nghiên cứu này, chúng tôi đã chế tạo dây nano oxit indium đơn tinh thể (NW) trên điện cực cài răng lược Platin bằng phương pháp CVD. Phân tích hình thái và cấu trúc của các dây nano IN₂O₃ (NWs) bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM) và nhiễu xạ tia X (XRD) cho thấy rằng các dây nano IN₂O₃ là đơn tinh thể và có đường kính khoảng 100- 200nm. Tính chất nhạy khí của cảm biến dây nano IN₂O₃ đối với NO₂ đã được tiến hành đo trong khoảng nhiệt độ từ 250 đến 450°C.