Nghiên cứu tổng quan vật liệu silicon trong ngành thiết bị bán dẫn = Overview study of silicon materials in the semiconductive devices industry

Abstract

Ngành công nghiệp thiết bị bán dẫn là một trong những ngành quan trọng hiện nay, dựa trên các ứng dụng rộng rãi, có ý nghĩa về kinh tế và chiến lược. Nghiên cứu này tổng quan các công nghệ mới về chất bán dẫn, vật liệu và kiến trúc sản xuất bóng bán dẫn. Đưa ra các xu hướng mới nhất trong quy trình in thạch bản, tập trung vào in thạch bản cực tím (EUV). Ở cấp độ kiến trúc bóng bán dẫn, bài viết thảo luận về các loại bóng bán dẫn khác nhau, nhấn mạnh vào cấu trúc và đặc tính của bóng bán dẫn hiệu ứng trường (FinFET). Bài báo cũng tóm tắt lộ trình phát triển chất bán dẫn mới nhất, những hứa hẹn và thách thức trong việc theo kịp tốc độ tích hợp của Moore.