Vui lòng dùng định danh này để trích dẫn hoặc liên kết đến tài liệu này: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/105883
Nhan đề: Nghiên cứu tổng quan vật liệu silicon trong ngành thiết bị bán dẫn = Overview study of silicon materials in the semiconductive devices industry
Tác giả: Châu, Thanh Phương
Từ khoá: EUV
FinFET
In thạch bản
Silicon
Năm xuất bản: 2024
Tùng thư/Số báo cáo: Tạp chí Cơ khí Việt Nam;Số 315 .- Tr.22-27
Tóm tắt: Ngành công nghiệp thiết bị bán dẫn là một trong những ngành quan trọng hiện nay, dựa trên các ứng dụng rộng rãi, có ý nghĩa về kinh tế và chiến lược. Nghiên cứu này tổng quan các công nghệ mới về chất bán dẫn, vật liệu và kiến trúc sản xuất bóng bán dẫn. Đưa ra các xu hướng mới nhất trong quy trình in thạch bản, tập trung vào in thạch bản cực tím (EUV). Ở cấp độ kiến trúc bóng bán dẫn, bài viết thảo luận về các loại bóng bán dẫn khác nhau, nhấn mạnh vào cấu trúc và đặc tính của bóng bán dẫn hiệu ứng trường (FinFET). Bài báo cũng tóm tắt lộ trình phát triển chất bán dẫn mới nhất, những hứa hẹn và thách thức trong việc theo kịp tốc độ tích hợp của Moore.
Định danh: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/105883
ISSN: 2615-9910
Bộ sưu tập: Cơ khí Việt Nam

Các tập tin trong tài liệu này:
Tập tin Mô tả Kích thước Định dạng  
_file_
  Giới hạn truy cập
3.08 MBAdobe PDF
Your IP: 18.117.72.24


Khi sử dụng các tài liệu trong Thư viện số phải tuân thủ Luật bản quyền.