Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/105883
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorChâu, Thanh Phương-
dc.date.accessioned2024-08-19T02:33:34Z-
dc.date.available2024-08-19T02:33:34Z-
dc.date.issued2024-
dc.identifier.issn2615-9910-
dc.identifier.urihttps://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/105883-
dc.description.abstractNgành công nghiệp thiết bị bán dẫn là một trong những ngành quan trọng hiện nay, dựa trên các ứng dụng rộng rãi, có ý nghĩa về kinh tế và chiến lược. Nghiên cứu này tổng quan các công nghệ mới về chất bán dẫn, vật liệu và kiến trúc sản xuất bóng bán dẫn. Đưa ra các xu hướng mới nhất trong quy trình in thạch bản, tập trung vào in thạch bản cực tím (EUV). Ở cấp độ kiến trúc bóng bán dẫn, bài viết thảo luận về các loại bóng bán dẫn khác nhau, nhấn mạnh vào cấu trúc và đặc tính của bóng bán dẫn hiệu ứng trường (FinFET). Bài báo cũng tóm tắt lộ trình phát triển chất bán dẫn mới nhất, những hứa hẹn và thách thức trong việc theo kịp tốc độ tích hợp của Moore.vi_VN
dc.language.isovivi_VN
dc.relation.ispartofseriesTạp chí Cơ khí Việt Nam;Số 315 .- Tr.22-27-
dc.subjectEUVvi_VN
dc.subjectFinFETvi_VN
dc.subjectIn thạch bảnvi_VN
dc.subjectSiliconvi_VN
dc.titleNghiên cứu tổng quan vật liệu silicon trong ngành thiết bị bán dẫn = Overview study of silicon materials in the semiconductive devices industryvi_VN
dc.typeArticlevi_VN
Appears in Collections:Cơ khí Việt Nam

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
_file_
  Restricted Access
3.08 MBAdobe PDF
Your IP: 3.21.12.122


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.