Đo các đặc tính của plasma với đầu dò Langmuir

Abstract

Plasma ứng dụng rộng rãi trong đời sống, khoa học, công nghệ, công nghiệp. Plasma giúp nâng cao chất lượng cuộc sống cũng như hiệu quả kinh tế. Tuy nhiên mỗi trường hợp thì nó lại yêu cầu nguồn plasma có thông số phù hợp. Chính vì vậy việc mà sản xuất và xác định các thông số của nguồn plasma là rất cần thiết và quan trọng. trong số các phương pháp chẩn đoán thì phương pháp chẩn đoán bằng đầu dò tĩnh điện langmuir là phương pháp được sử dụng rộng rãi do độ tin cậy cao.