Ứng dụng plasma trong công nghệ bán dẫn

Abstract

Chương 1: Giới Thiệu Về Plasma Tìm hiểu lịch sử hình thành và phát triển của plasma qua các giai đoạn khác nhau. Plasma tồn tại xung quanh con người. Chương 2: Khái Niệm Cơ Bản Về Plasma Tìm hiểu plasma là gì? Những đặc trưng cơ bản của plasma, Phân loại plasma theo nhiệt động lực học. Chương 3: Các Nguồn Plasma Trong Công Nghiệp Tìm hiểu về 3 nguồn plasma: DBD, CCP, ICP. Đặc điểm và ứng dụng của từng loại Chương 4: Ứng Dụng Plasma Trong Công Nghệ Bán Dẫn Tìm hiểu về chất bán dẫn, transistor, IC. Nêu ra các quy trình để sản xuất IC hoàn chỉnh có ứng dụng của plasma trong đó