Nghiên cứu xây dựng phương pháp đo độ thẳng của sống trượt đệm khí

Abstract

Hiện nay, đệm khí được sử dụng phổ biến trong các hệ thống, thiết bị dẫn động chính xác như máy đo 3 tọa độ, hệ thống gia công laser, hệ thống quang khắc. Đệm khí cho phép chuyển động tương đối, nghĩa là tồn tại khe hở khớp động, nhưng khe hở khớp động được kiểm soát, không xuất hiện sai số ngẫu nhiên. Nhờ ưu điểm nỗi bật là ma sát nhỏ dẫn đến giảm thiểu mài mòn, giảm thiểu sinh nhiệt độ ma sát. Hơn nữa độ nhớt của khí bôi trơn (không khí) ít ảnh hưởng bởi nhiệt độ....