Phương pháp đo bán kính chi tiết quang độ chính xác cao sử dụng kỹ thuật điều biến tần số cho Laser bán dẫn

Abstract

Bài báo này đề xuất phương pháp nâng cao độ chính xác của phép đo bán kính chi tiết quang, sử dụng kỹ thuật điều biến tần số cho laser bán dẫn. Bán kính của chi tiết cầu được định nghĩa là khoảng cách từ đỉnh (cat’s eye) đến tâm của mặt cầu (confocal). Khi chi tiết đo dịch chuyển dọc theo quang trục, cường độ thu được trên cảm biến quang sẽ đạt cực đại tại vị trí đỉnh và tâm mặt cầu. Tín hiệu thu được từ cảm biến được xử lý bằng kỹ thuật trích xuất đồng bộ chuyển thành tín hiệu hàm lẻ, đối xứng qua điểm có cường độ bằng không. Điểm “0” này chỉ xuất hiện tại vị trí đỉnh và tâm mặt cầu. Kỹ thuật trích xuất đồng bộ chỉ thu tín hiệu đồng bộ với tín hiệu chuẩn và loại bỏ toàn bộ nhiều. Hệ thống đo bán kính sử dụng phương pháp này có kích thước nhỏ gọn, độ chính xác cao và phạm vi do lớn.