Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số công nghệ đến đặc tính mài mòn của lớp màng cứng CRN được chế tạo bằng phương pháp phún xạ xung DC

Abstract

Màng cứng gốc Crôm thường được sử dụng bảo vệ bề mặt khỏi sự cào xước và mài mòn, giảm ma sát, chống dính, tăng tuổi thọ làm việc của chi tiết và dụng cụ. Đặc tính mài mòn của lớp màng cứng CrN được quyết định bởi phương pháp và các tham số công nghệ trong quá trình tạo màng. Nội dung của bài báo trình bày khảo sát ảnh hưởng của lưu lượng khí, tần số xung, nhiệt độ để đến đặc tính mài mòn của lớp màng cứng CrN được tạo phủ bằng phương pháp phún xạ xung DC trên nền thép SKD11.