Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/3302
Title: | Quang khắc: Nguyên lý và ứng dụng |
Authors: | Đặng, Minh Triết Lâm, Triều Phú |
Keywords: | Sư phạm vật lý |
Issue Date: | 2018 |
Publisher: | Trường Đại học Cần Thơ |
Abstract: | Đề tài này nhằm tìm hiểu về quy trình lithography - quang khắc, một kỹ thuật sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng các bức xạ (ánh sáng, chùm điện tử…) làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo và các ứng dụng của quy trình này. |
Description: | 71 tr. |
URI: | http://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/3302 |
Appears in Collections: | Khoa Sư phạm |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
_file_ Restricted Access | 2.69 MB | Adobe PDF | ||
Your IP: 18.118.186.143 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.