Quang khắc: Nguyên lý và ứng dụng

Vui lòng dùng định danh này để trích dẫn hoặc liên kết đến tài liệu này: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/3302

Nhan đề:	Quang khắc: Nguyên lý và ứng dụng
Tác giả:	Đặng, Minh Triết Lâm, Triều Phú
Từ khoá:	Sư phạm vật lý
Năm xuất bản:	2018
Nhà xuất bản:	Trường Đại học Cần Thơ
Tóm tắt:	Đề tài này nhằm tìm hiểu về quy trình lithography - quang khắc, một kỹ thuật sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng các bức xạ (ánh sáng, chùm điện tử…) làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo và các ứng dụng của quy trình này.
Mô tả:	71 tr.
Định danh:	http://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/3302
Bộ sưu tập:	Khoa Sư phạm

Các tập tin trong tài liệu này:

Tập tin	Mô tả	Kích thước	Định dạng
_file_ Giới hạn truy cập		2.69 MB	Adobe PDF
Your IP: 3.136.233.153

Khi sử dụng các tài liệu trong Thư viện số phải tuân thủ Luật bản quyền.

Thư viện số DSPACE