Quang khắc: Nguyên lý và ứng dụng

Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/3302

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Đặng, Minh Triết	-
dc.contributor.author	Lâm, Triều Phú	-
dc.date.accessioned	2018-08-08T06:20:12Z	-
dc.date.available	2018-08-08T06:20:12Z	-
dc.date.issued	2018	-
dc.identifier.other	B1406751	-
dc.identifier.uri	http://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/3302	-
dc.description	71 tr.	vi_VN
dc.description.abstract	Đề tài này nhằm tìm hiểu về quy trình lithography - quang khắc, một kỹ thuật sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng các bức xạ (ánh sáng, chùm điện tử…) làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo và các ứng dụng của quy trình này.	vi_VN
dc.language.iso	vi	vi_VN
dc.publisher	Trường Đại học Cần Thơ	vi_VN
dc.subject	Sư phạm vật lý	vi_VN
dc.title	Quang khắc: Nguyên lý và ứng dụng	vi_VN
dc.type	Thesis	vi_VN
Appears in Collections:	Khoa Sư phạm

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
_file_ Restricted Access		2.69 MB	Adobe PDF
Your IP: 3.145.50.222

LRC Digital repo