Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/71194
Title: | Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt loại n SnO₂ pha tạp Ta trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC |
Authors: | Ngô, Ngọc Hưng Đặng, Hữu Phúc Nguyễn, Thị Mỹ Hạnh Lê, Trấn Trần, Bích Thủy |
Keywords: | Màng loại n SnO₂ Ta Phún xạ Magnetron DC X-ray Hall I-V |
Issue Date: | 2020 |
Series/Report no.: | Tạp chí Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Công nghiệp Thành phố Hồ Chí Minh;Số 43B - Tr.12-18 |
Abstract: | Công trình này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO₂ pha tạp Ta (TTO) đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng được khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Kết quả cho thấy, màng có cấu trúc tứ giác rutile của SnO₂ đa tinh thể với mặt ưu tiên SnO₂ (101). |
URI: | https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/71194 |
ISSN: | 2525-2267 |
Appears in Collections: | Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Công nghiệp Thành phố Hồ Chí Minh |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
_file_ Restricted Access | 1.96 MB | Adobe PDF | ||
Your IP: 3.138.101.51 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.