Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt loại n SnO₂ pha tạp Ta trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC

Abstract

Công trình này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO₂ pha tạp Ta (TTO) đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng được khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Kết quả cho thấy, màng có cấu trúc tứ giác rutile của SnO₂ đa tinh thể với mặt ưu tiên SnO₂ (101).