Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/81495
Title: | Ảnh hưởng của chiều dày và lực cơ học đến tính chất áp điện của màng mỏng chì Lantan zirconi titan (PLZT) = Effect of film thickness and mechanical force on piezoelectric properties of lead lanthanum zirconium titanium (PLZT) thin film. |
Authors: | Đặng, Thị Hà Trần, Thị Đoan Nguyễn, Đức Minh Đỗ, Văn Trường Vũ, Ngọc Hùng |
Keywords: | Màng mỏng PLZT Phần tử hữu hạn Đặc tính cơ học Điện trường Biến dạng Tính chất áp điện |
Issue Date: | 2021 |
Series/Report no.: | Tạp chí cơ khí;Số 9 .- Tr.54-64 |
Abstract: | Trong nghiên cứu này, phương pháp thí nghiệm và phương pháp mô phỏng phần tử hữu hạn đã được kết hợp để khảo sát ảnh hưởng của chiều dày và lực cơ học đến tính chất áp điện của màng mỏng chì lantan zirconi titan (PLZT). Kết quả thu được cho thấy mức độ biến dạng của màng mỏng tăng khi chiều dày tăng và đạt ngưỡng bảo hòa khi chiều dày lớn hơn, khoảng 1000 nm. Dưới tác dụng của lực cơ học, mức độ biến dạng cũng thay đổi theo hướng của lực tác dụng. Các kết quả của nghiên cứu này là những cơ sở góp phần định hướng trong thiết kế và chế tạo các thiết bị, linh kiện sử dụng màng mỏng vật liệu sắt điện chuyển pha nhòe nói chung và vật liệu (PLZT) nói riêng. |
URI: | https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/81495 |
ISSN: | 2615-9910 |
Appears in Collections: | Cơ khí Việt Nam |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
_file_ Restricted Access | 3.51 MB | Adobe PDF | ||
Your IP: 3.144.3.235 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.