Ảnh hưởng của chiều dày và lực cơ học đến tính chất áp điện của màng mỏng chì Lantan zirconi titan (PLZT) = Effect of film thickness and mechanical force on piezoelectric properties of lead lanthanum zirconium titanium (PLZT) thin film.

Abstract

Trong nghiên cứu này, phương pháp thí nghiệm và phương pháp mô phỏng phần tử hữu hạn đã được kết hợp để khảo sát ảnh hưởng của chiều dày và lực cơ học đến tính chất áp điện của màng mỏng chì lantan zirconi titan (PLZT). Kết quả thu được cho thấy mức độ biến dạng của màng mỏng tăng khi chiều dày tăng và đạt ngưỡng bảo hòa khi chiều dày lớn hơn, khoảng 1000 nm. Dưới tác dụng của lực cơ học, mức độ biến dạng cũng thay đổi theo hướng của lực tác dụng. Các kết quả của nghiên cứu này là những cơ sở góp phần định hướng trong thiết kế và chế tạo các thiết bị, linh kiện sử dụng màng mỏng vật liệu sắt điện chuyển pha nhòe nói chung và vật liệu (PLZT) nói riêng.