Nghiên cứu ảnh hưởng của nồng độ fluoride pha tạp và bề dày màng lên các tính chất đặc của màng mỏng dẫn điện trong suốt SnO2:F.

Abstract

Màng mỏng thiếc oxit pha tạp F (FTO) được chế tạo bằng phương pháp phun phủ nhiệt phân siêu âm (USP); đây là phương pháp đơn giản, nhanh chóng và tiết kiệm chi phí và cho phép chế tạo màng FTO với chất lượng tốt. Ảnh hưởng nồng độ F pha tạp (F/Sn = 0 – 0,9) và bề dày màng lên cấu trúc, hình thái bề mặt, tính chất điện – quang của màng FTO đã được nghiên cứu trong luận án này. Kích thước hạt, độ dày và độ nhám bề mặt tăng, những thay đổi đáng kể này ảnh hưởng đến tính chất dẫn điện và truyền quang của màng FTO. Nhiệt độ Ts được nghiên cứu trong luận án này là 400°C. Ngoài ra, nồng độ hạt tải 1,03×1020 lên 1,7×1021 cm-3 đối với màng FTO được điều chế với mức tăng từ tỷ lệ pha tạp F / Sn = 0 (SnO2 tinh khiết) lên 0,6. Ngược lại, quá nhiều pha tạp F dẫn đến xen kẽ hoặc cụm, dẫn đến nồng độ và độ truyền thấp hơn. Điện trở suất của màng FTO thấp nhất là 6,8 × 10-4 mΩ.cm, độ linh động cao nhất 8.1 cm2/Vs ở nồng độ pha tạo F / Sn = 0.6 và bề dày màng là 220nm.