Nghiên cứu sự ảnh hưởng của áp suất phún xạ tới độ cứng và hình thái bề mặt của lớp phủ cacbon giản kim cương trên nền thép AISI 316L = Studying the effect of sputtering pressure on hardness and surface morphology of diamond-reduced carbon coating on AISI 316L steel

Abstract

Màng cacbon giống kim cương (DLC) đã được phủ trên thép AISI 316L theo điều kiện áp suất khác nhau bảng phương pháp phún xạ magnetron. Hình thái học bề mặt, đặc tính cấu trúc màng và độ cứng của mẫu phù DLC đã được đánh giá. Khi giảm áp suất, tỷ lệ liên kết sp³, độ bóng và độ cứng của màng tăng lên. Tuy nhiên, xu hướng này không thể tiếp tục duy trì khi áp suất giảm xuống 3 x I0³ mbar. Độ cứng lớn nhất của mảng đạt 2640 HV, tại điều Kiện áp suất 4 x 10⁻³ mbar. Độ bóng thấp nhất R₂_= 9,7 nm ứng với trường hợp áp suất 5,5 x 10⁻³ mbar.