Ứng dụng plasma trong công nghệ tạo màng mỏng

Abstract

Luận văn trình bày các mốc lịch sử phát triển của plasma. Những kiến thức tổng quan về plasma và các phương pháp tạo ra plasma. Đưa ra khái niệm và ứng dụng của màng mỏng trong cuộc sống. Các phương pháp tạo màng mỏng thường dùng. Trình bày bản chất, cơ chế của phương pháp phún xạ. Đưa ra các phương pháp phún xạ, những ưu và nhược điểm của mỗi phương pháp. Trình bày các thông số, quy trình tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ sử dụng plasma và ứng dụng của một số màng mỏng.