Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/18954
Title: Ứng dụng plasma trong công nghệ bán dẫn
Authors: Trần, Thanh Hải
Nguyễn, Thị Cẩm Thi
Keywords: Sư phạm vật lý
Issue Date: 2019
Publisher: Trường Đại học Cần Thơ
Abstract: Chương 1: Giới Thiệu Về Plasma Tìm hiểu lịch sử hình thành và phát triển của plasma qua các giai đoạn khác nhau. Plasma tồn tại xung quanh con người. Chương 2: Khái Niệm Cơ Bản Về Plasma Tìm hiểu plasma là gì? Những đặc trưng cơ bản của plasma, Phân loại plasma theo nhiệt động lực học. Chương 3: Các Nguồn Plasma Trong Công Nghiệp Tìm hiểu về 3 nguồn plasma: DBD, CCP, ICP. Đặc điểm và ứng dụng của từng loại Chương 4: Ứng Dụng Plasma Trong Công Nghệ Bán Dẫn Tìm hiểu về chất bán dẫn, transistor, IC. Nêu ra các quy trình để sản xuất IC hoàn chỉnh có ứng dụng của plasma trong đó
Description: 60 tr.
URI: http://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/18954
Appears in Collections:Khoa Sư phạm

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
_file_
  Restricted Access
2.5 MBAdobe PDF
Your IP: 34.239.167.149


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.