Ứng dụng plasma trong công nghệ bán dẫn

Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/18954

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Trần, Thanh Hải	-
dc.contributor.author	Nguyễn, Thị Cẩm Thi	-
dc.date.accessioned	2019-12-13T02:19:57Z	-
dc.date.available	2019-12-13T02:19:57Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.other	B1500865	-
dc.identifier.uri	http://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/18954	-
dc.description	60 tr.	vi_VN
dc.description.abstract	Chương 1: Giới Thiệu Về Plasma Tìm hiểu lịch sử hình thành và phát triển của plasma qua các giai đoạn khác nhau. Plasma tồn tại xung quanh con người. Chương 2: Khái Niệm Cơ Bản Về Plasma Tìm hiểu plasma là gì? Những đặc trưng cơ bản của plasma, Phân loại plasma theo nhiệt động lực học. Chương 3: Các Nguồn Plasma Trong Công Nghiệp Tìm hiểu về 3 nguồn plasma: DBD, CCP, ICP. Đặc điểm và ứng dụng của từng loại Chương 4: Ứng Dụng Plasma Trong Công Nghệ Bán Dẫn Tìm hiểu về chất bán dẫn, transistor, IC. Nêu ra các quy trình để sản xuất IC hoàn chỉnh có ứng dụng của plasma trong đó	vi_VN
dc.language.iso	vi	vi_VN
dc.publisher	Trường Đại học Cần Thơ	vi_VN
dc.subject	Sư phạm vật lý	vi_VN
dc.title	Ứng dụng plasma trong công nghệ bán dẫn	vi_VN
dc.type	Thesis	vi_VN
Appears in Collections:	Khoa Sư phạm

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
_file_ Restricted Access		2.5 MB	Adobe PDF
Your IP: 3.133.160.156

LRC Digital repo