Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/24853
Title: Ảnh hưởng của nhiệt độ lắng đọng lên cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng mỏng ZnO pha tạp F được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron
Authors: Phạm, Thanh Tuấn Anh
Ngô, Minh Nhựt
Nguyễn, Hữu Trương
Hoàng, Văn Dũng
Phan, Bách Thắng
Trần, Cao Vinh
Keywords: Cấu trúc tinh thể
Màng mỏng
Nhiệt độ lắng đọng
ZnO pha tạp F
Issue Date: 2019
Series/Report no.: Khoa học & Công nghệ Việt Nam;Số 61(06) .-Tr.51-55
Abstract: Màng mỏng trong suốt dẫn điện ZnO pha tạp F (FZO) được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron từ bia gốm ZnO pha tạp ZnF2 . Cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng FZO được nghiên cứu theo sự thay đổi nhiệt độ lắng đọng (100-300o C), bằng các phương pháp như phổ nhiễu xạ tia X (XRD), phép đo Hall và phổ truyền qua UV-Vis. Kết quả XRD cho thấy các màng FZO đều có cấu trúc đặc trưng hexagonal wurtzite của ZnO, với định hướng ưu tiên theo trục c vuông góc với bề mặt đế. Về tính chất điện, độ linh động điện tử của màng tăng đơn điệu khi nhiệt độ tăng do chất lượng tinh thể được cải thiện, trong khi đó, nồng độ hạt tải đạt cực đại ở 200o C. Độ truyền qua trung bình của các màng FZO đều trên 83% trong dải bước sóng rộng (400-1100 nm). Sự dịch chuyển xanh của bờ hấp thu kèm theo độ mở rộng năng lượng vùng cấm phù hợp với hiệu ứng Burstein-Moss.
URI: http://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/24853
ISSN: 1859-4794
Appears in Collections:Khoa học & Công nghệ Việt Nam

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
_file_
  Restricted Access
1.01 MBAdobe PDF
Your IP: 3.141.3.178


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.