Nghiên cứu và chế tạo màng mỏng SnO2 pha tạp F

Abstract

Màng mỏng oxit pha tạp thiếc (FTO) được chế tạo bằng phương pháp nhiệt phân phun siêu âm (USP), đơn giản, nhanh chóng và tiết kiệm chi phí. Ảnh hưởng nồng độ pha tạp F trên màng mỏng FTO đã được nghiên cứu trong luận án này, Kích thước hạt, độ dày và độ nhám bề mặt tăng, những thay đổi đáng kể này ảnh hưởng đến tính chất dẫn điện và truyền quangt của phim FTO. Nhiệt độ đế được nghiên cứu trong luận án này là 400°C. Ngoài ra, nồng độ chất mang được tăng từ 1020 lên 1021 cm-3 đối với màng FTO được điều chế với mức tăng từ F / Sn = 0 (SnO2 tinh khiết) lên 0,25. Ngược lại, quá nhiều pha tạp F dẫn đến các hạt có xu hướng thành cụm kích thước hạt to nhỏ không đồng đều, dẫn đến độ dẫn điện và độ truyền quang thấp hơn. Điện trở suất của màng FTO thấp nhất ở nồng độ pha tạo F / Sn = 0,5.