Nghiên cứu ảnh hưởng của hàm lượng khí Nitơ đến đặc tính lớp màng cứng tin chế tạo bằng phương pháp phúng xạ DC = Researching the Effect of nitrogen content on the characteristics of TiN hard coating made by DC sputtering

Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/81252

Title:	Nghiên cứu ảnh hưởng của hàm lượng khí Nitơ đến đặc tính lớp màng cứng tin chế tạo bằng phương pháp phúng xạ DC = Researching the Effect of nitrogen content on the characteristics of TiN hard coating made by DC sputtering
Authors:	Trần, Văn Đua Phạm, Đức Cường Phạm, Văn Đông Nguyễn, Xuân Chung Nguyễn, Quang Định
Keywords:	Màng cứng PVD TiN
Issue Date:	2021
Series/Report no.:	Tạp chí cơ khí;Số 7 .- Tr.70-77
Abstract:	Nội dung của bài báo trình bày nghiên cứu ảnh hưởng của lưu lượng khí Nitơ đến hình thái học, thành phần hóa học, chiều dày độ cứng của màng cứng TiN được chế tạo bằng phương pháp phún xạ DC trên nền thép gió P18.
URI:	https://dspace.ctu.edu.vn/jspui/handle/123456789/81252
ISSN:	2615-9910
Appears in Collections:	Cơ khí Việt Nam

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
_file_ Restricted Access		1.6 MB	Adobe PDF
Your IP: 18.221.174.248

LRC Digital repo